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日立 掃描探針顯微鏡 AFM100

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產品特點

通過使用日立 掃描探針顯微鏡 AFM100,任何人都能輕松且穩定地獲取可靠數據,從而完成從科學研究用途到質量管理中的日常作業。

詳細介紹

產品簡介

日立 掃描探針顯微鏡 AFM100 是為了推動具有高操作性的AFM裝置在工業領域和科學研究開發領域實現普及,提高總處理量和可靠性。



功能特點

1.提高了操作性、可靠性及總處理量

為簡化過去操作繁瑣的懸臂更換,采用新開發的預裝方式*1懸臂,提高了操作性。而且,通過配備自動向導功能,還可以根據樣品的表面形貌,自動設置zui佳測量條件,對探針進行接觸狀態控制和掃描速度調整等,任何人測量都可以得到穩定的結果,從而提高了數據的可靠性。此外,該機型支持自動多點測量,只需點擊一下,從測量,到圖像數據分析、保存可一次性完成,大大縮短了數據測量分析時間。


2.提高了與本公司SEM裝置的親和性 

選配功能“AFM標記功能”通過采用日立高新技術自主開發的S?Mic.(S?Mic:AFM-SEM相關顯微鏡法)觀察方法,提高了與掃描電子顯微鏡SEM(Scanning Electronic Microscope)的親和性。在觀察樣品的同一位置時,可以充分發揮各個設備的特性,對樣品進行機械特性、電氣特性、成分分析等檢測,易于開展多方面分析。


3.實現裝置的擴展性和持續性

為確保用戶可長期使用,該裝置標配控制軟件免費下載服務和能夠自行診斷意外故障因素的自檢功能。因此,用戶只需自己動手進行軟件升,即可始終保持zui新性能。


*1預裝方式:在用于安裝懸臂的盒式芯片上預先安裝懸臂的方式。


規格


項目AFM100
檢測系統光杠桿法 SLD(超輻射發光二管)
樣品架預安裝支架、多支架
基本規格RMS噪音水平:≦0.03 nm、基線漂移:≦0.03 nm/sec
樣品尺寸大35 mmφ、厚度10 mm、選配擴展時(大50 mm方形、厚度20 mm)
掃描器(掃描范圍)(XY:20 μm/Z:1.5 μm、XY:100 μm/Z:15 μm、XY:150 μm/Z:5 μm)(5年保修)
光學顯微鏡普通光學顕微鏡
(視野XY:1.6×1.2 mm)
基本功能AFM、DFM、PM、FFM、SIS-形狀
隔振?隔音方式桌上型隔振臺
樣品載物臺手動載物臺 XY:±2.5 mm、移動載物臺(導電型)
測試環境空氣、液體、加熱(室溫~250℃)、液體加熱(室溫~60℃)
其他功能自檢功能、軟件下載服務、AFM標記
電源規格AC 100 V±10 V、15 A、1系統、D種接地 接地插座

※ 表中標注部分為可選配置。

* 詳細規格請查看產品規格。

基本規格值必須符合安裝環境標準。

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