產品介紹：

Thermo Scientific? μPolisher 系統是一種獨特的解決方案，適用于原位、較低能量的局部表面修飾，包括拋光和清洗散裝樣品。系統使用帶可調節能量和各種離子電流的靜態氣體 Ar+ 離子束，以確保在各種應用中進行溫和的表面拋光。

關鍵優勢

• 可支持大量新型未經探索的應用的獨特解決方案

• 使用靜態離子束進行低能清洗 (20 - 500eV)，適用于大多數溫和的表面拋光

• 原位 SEM/DualBeam 解決方案，允許在清潔后實驗，而無需破壞真空

• 小光斑尺寸適用于精確的局部表面處理，無需重新沉積

• 廣泛的操作條件，適用于各種應用

• 完全集成于本款顯微鏡的用戶界面，操作簡單直觀

潛在應用

• 低耗損清洗

• 去除氧化層

• 碳氫化合物表面清潔

• 去除 Ga 污染

• FIB 處理后損傷層減少