TESCAN 高分辨率場發(fā)射掃描電鏡

TESCAN MAGNA 超高分辨率場發(fā)射掃描電鏡

在低電壓下具有良好的分辨率和優(yōu)異的性能，尤為適用于納米表征

TESCAN MAGNA 是一款功能強大的分析儀器，可用于表征納米材料的表面以及進行微觀分析。 TESCAN MAGNA采用 Triglav? 型 SEM 鏡筒，具有超高的分辨率，在低電壓下尤為明顯；鏡筒內(nèi)探測器系統(tǒng)具有電子信號過濾能力，可以獲得更好的圖像襯度和表面靈敏度。此外， TESCAN MAGNA 配備肖特基場發(fā)射電子槍，能夠提供高達 400 nA 的束流，同時 Triglav?型 SEM 鏡筒所具備的出色性能和高穩(wěn)定性，為微分析和長耗時樣品的分析應(yīng)用提供了良好條件。

TESCAN MAGNA 低電壓下的優(yōu)異性能和所能獲得的各種圖像襯度，使得它非常適用于不導(dǎo)電樣品的成像，如陶瓷、無涂層生物樣品，以及在半導(dǎo)體工業(yè)和新材料研究中應(yīng)用越來越普遍的光敏樣品。 TESCAN MAGNA  使用了全新的 TESCAN Essence? 軟件，用戶界面友好，可以滿足各類應(yīng)用需求，可定制的布局以及自動化的樣品制備功能，更大限度地提升了操作便捷性和工作效率。

主要特點

* 表征納米材料的理想解決方案

TESCAN 的 Triglav?型 SEM 鏡筒具有三物鏡系統(tǒng) TriLens? ，與同類設(shè)備相比功能更多樣化。UH-resolution 物鏡提供的超高分辨率非常適合于形貌細節(jié)觀察，使研究人員能夠更好的分析納米級樣品。全新的高分辨 Analytical 物鏡可實現(xiàn)無漏磁成像，是磁性樣品觀察和分析（EDS, EBSD）的理想選擇。第三個物鏡可以實現(xiàn)多種模式觀測，并對束斑形狀進行優(yōu)化，進而改善成像和分析性能。

* 可以獲得不同襯度圖像，更大程度洞察樣品

TESCAN MAGNA 配備 TriBE? 探測器系統(tǒng)：包含三個背散射電子探測器，可以根據(jù)角度和能量的差異選擇性地收集信號，Mid-Angle BSE 和 In-Beam f-BSE 探測器位于鏡筒內(nèi)，可以接收中角度和軸向的背散射電子，而樣品室內(nèi)背散射電子探測器則用于接收廣角背散射電子。同時，MAGNA 還配備 TriSE? 探測器系統(tǒng)：共有三個二次電子探測器，可在所有工作模式下以良好方式獲取二次電子：In-Beam SE 探測器可以在非常短的工作距離下接收二次電子；SE（BDM）為電子束減速模式下的二次電子探測器可以提供良好的分辨率；樣品室內(nèi)的二次電子探測器則能提供良好形貌襯度的圖像。

* 更加先進的成像能力

新一代 Triglav? 鏡筒中的鏡筒內(nèi)探測器系統(tǒng)經(jīng)過進一步優(yōu)化，信號檢測效率提高了三倍以上。此外，該系統(tǒng)還擴展了檢測能力，能夠分析能量過濾后的軸向背散射電子信號，這樣就可以通過選擇性地收集低損耗背散射電子來獲得更好的襯度和表面靈敏度。

* 提供良好的分析條件

新一代 Triglav? 鏡筒還具有自適應(yīng)束斑優(yōu)化功能，可以提高了大束流下的分辨率，這一特點有利于更好的進行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析。此外，肖特基場發(fā)射電子槍能夠產(chǎn)生高達 400 nA 的電子束流，電壓也可以快速改變并保證在所有的分析應(yīng)用下都能夠獲得良好的信號。

* 讓復(fù)雜的應(yīng)用變的容易簡單

新一代 TESCAN Essence? 是一款簡化的、支持多用戶的軟件，它的布局管理器可以幫助用戶快速、方便地訪問所有主要功能。軟件界面可自定義，以更好地適應(yīng)特定的應(yīng)用方向，符合不同用戶的使用偏好。軟件的各種功能模塊、向?qū)Ш蛻?yīng)用方案使得無論是入門級用戶或是專家級用戶都能夠輕松順暢的掌握掃描電鏡的操作，從而提升樣品的處理速度，提高工作效率。