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離子減薄儀

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詳細介紹

儀器簡介:
一、1050離子減薄儀性能概述
For many of today’s advanced materials, analysis by transmission electron microscopy
(TEM) is the best technique for studying material structure and properties.
Fischione Model 1050 TEM Mill is an excellent tool for creating the thin, electron transparent specimens needed for TEM imaging and analysis.
  1. 整臺儀器設計緊湊,觸摸屏的設置,可以自動控制減薄過程.
  2. 離子源自清洗功能,省略了定期清洗離子源的工作.
  3. 離子源電磁聚焦磁場,金屬樣品微粒不會吸附在離子源處.
  4. 大樣品臺和懸空工作的設計,再加上超大空間樣品室,使得樣品散熱效果明顯.
  5. 樣品采用彈簧卡頭固定,避免用粘粘方法造成的樣品污染問題,同時,可以在零角度時減薄。.
  6. 兩個獨立的離子源,其電壓(0.1~6Kev),電流(3~10mA)可調.
  7. 減薄入射角-10o ~ +10o ,樣品臺旋轉0o ~ 360o 制備具有大面積電子穿透區的樣品,
  8. 采用無油分子泵可保持樣品不受污染,抽真空的時間小于4分鐘.
  9. 樣品的觀察可借助透射光或反射光.
  10. 液氮冷臺可將樣品冷凍到低于-150 o C(可選件)

技術參數:
  • Variable voltage 0.1 to 6.0 kV operation (continuously adjustable)

兩個離子源電壓100eV~6.0KV連續可調

  • Beam current density up to 10 mA/cm2

束流密度最高可達10 mA/cm2,連續可調

  • Mil領 angle range of -10o to +10o

減薄入射角-10o ~+ 10o

  • Specimen rock with 1o increments adjustable from 1o to 360o

樣品臺旋轉0o ~ 360o

  • Turbomolecular Vacuum Pump with an integral molecular drag stage (70lps)

渦輪分子泵

  • Oil-free diaphragm backing pump

無油隔膜泵

  • Vacuum sensing is accomplished with a Pirani gauge

真空測定用皮拉尼真空計

  • Two TrueFocus ion sources direct controlled diameter ion beams

ZG設計的實時聚焦系統,會根據加速電壓的不同,自動調整聚焦磁場強度,聚焦離子束。(與永磁鐵的固定磁場不同)確保在低電壓時,也具有超高的能量密度

  • Contamination-free specimen mounting

專用的樣品夾技術,可以確保在零角度時的減薄時也沒有污染。

技術資料

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