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卓立漢光 RTS2-V 超高真空原位光譜檢測(cè)系統(tǒng)

品牌：北京卓立漢光
型號(hào)： RTS2-V
產(chǎn)地：北京通州區(qū)
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥1000000

上海愛儀通網(wǎng)絡(luò)科技有限公司更新時(shí)間：2025-03-06 08:43:55

銷售范圍售全國

入駐年限第4年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品拉曼光譜儀（RS）(55件)

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詳細(xì)介紹

RTS2-V超高真空原位光譜檢測(cè)系統(tǒng)

將光學(xué)顯微鏡或光譜儀模組對(duì)接于超高真空系統(tǒng)，可以作為超高真空互聯(lián)系統(tǒng)的檢測(cè)節(jié)點(diǎn)之一，用于材料和器件在不同制備環(huán)節(jié)之間對(duì)外延的薄膜或者轉(zhuǎn)移沉積的二維材料等樣品的質(zhì)量進(jìn)行快速無損檢測(cè)。

產(chǎn)品概述

超高真空光學(xué)顯微鏡/光譜儀測(cè)試系統(tǒng)
Ultra-high Vacuum (UHV) Optical / Spectroscopic Microscope System

截屏2025-03-06 上午10.48.31.png

產(chǎn)品特性和核心技術(shù)

模塊化設(shè)計(jì)，光學(xué)部分相對(duì)獨(dú)立。

? 包含光學(xué)顯微鏡、激光離焦量傳感器、自動(dòng)調(diào)焦和共聚焦耦合光路等等在內(nèi)的全部光學(xué)部分全部集成于一個(gè)光學(xué)模組之中，作為整體置于超高真空腔體之外，透過視窗玻璃聚焦于真空腔內(nèi)的樣品表面。

? 不污染真空內(nèi)環(huán)境。

? 超高真空系統(tǒng)烘烤時(shí)可以整體取走，并在烘烤完畢之后方便地定位安裝。

? 可根據(jù)用戶需求，靈活配置激光器、單色儀、探測(cè)器和物鏡等光學(xué)組件。

視窗玻璃厚度像差的補(bǔ)償校正。

? 拉曼光譜的高收集效率和分辨率。

性能參數(shù)：

顯微鏡模塊	高分辨鏡頭	50×，半復(fù)消色差物鏡空間分辨率 < 2 μm
顯微鏡模塊	長工作距離鏡頭	工作距離：~ 120 mm 空間分辨率：~ 5 μm
拉曼激發(fā)和收集模塊	激光光源	波長：532 nm，功率：50 mW。
	自動(dòng)對(duì)焦	對(duì)焦精度<0.2微米
	拉曼頻移范圍	80 ~ 9000 cm-1
樣品移動(dòng)和掃描平臺(tái)	步進(jìn)電機(jī)臺(tái)	整步分辨率 1 μm。
樣品移動(dòng)和掃描平臺(tái)	壓電陶瓷臺(tái)	最小可移動(dòng)步長 < 10 nm
光譜儀和探測(cè)器	光譜儀	320 mm焦長單色儀，接面陣探測(cè)器。分辨率 < 2.0 cm-1。
軟件	控制軟件	可選擇區(qū)域或指定點(diǎn)位自動(dòng)逐點(diǎn)光譜采集或拍照。
軟件	Mapping數(shù)據(jù)分析軟件	圖像分析：尺寸測(cè)量缺陷識(shí)別光譜分析：對(duì)光譜峰位、峰高和半高寬等進(jìn)行擬合。計(jì)算應(yīng)力、晶化率、載流子濃度等信息。主成分分析（PCA）和k-均值聚類處理模塊。將擬合結(jié)果以二維圖像方式顯示。