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當前位置:儀器網>產品中心> 實驗室常用設備>制樣/消解設備> 氣相沉積系統共找到18條氣相沉積系統產品信息
氣相沉積系統

氣相沉積系統

是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數金屬材料和金屬合金材料。是傳統的制備薄膜的技術,其原理是利用氣態的先驅反應物,通過原子、分子間化學反應,使得氣態前驅體中的某些成分分解,而在基體上形成薄膜。包括常壓化學氣相沉積、等離子體輔助化學沉積、激光輔助化學沉積、金屬有機化合物沉積等。
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