- 2025-01-21 09:32:18氣溶膠沉積
- 氣溶膠沉積是指氣溶膠粒子在重力、慣性力、擴(kuò)散力等作用下，在物體表面或空間內(nèi)沉積的過程。氣溶膠粒子包括固體顆粒、液體顆粒或它們的混合物，廣泛存在于大氣中。沉積過程受多種因素影響，如粒子大小、形狀、密度、電荷狀態(tài)以及環(huán)境條件等。氣溶膠沉積在環(huán)境科學(xué)、大氣科學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域有重要應(yīng)用。
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氣溶膠沉積資訊
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- 復(fù)納科技亮相電催化會(huì)議，干法納米顆粒合成與打印賦能催化研究！
- “2025 中國(guó)化學(xué)會(huì)電催化與電合成國(guó)際研討會(huì)暨電化學(xué)青年學(xué)者論壇”于 2025 年3 月 28-30 日在湖南省湘潭市順利召開。
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氣溶膠沉積問答
- 2023-08-09 15:13:49原子層沉積ALD在納米材料方面的應(yīng)用
- 在微納集成器件進(jìn)一步微型化和集成化的發(fā)展趨勢(shì)下，現(xiàn)有器件特征尺寸已縮小至深亞微米和納米量級(jí)，以突破常規(guī)尺寸的極限實(shí)現(xiàn)超微型化和高功能密度化，成為近些年來的熱點(diǎn)研究領(lǐng)域。微納結(jié)構(gòu)器件不僅對(duì)功能薄膜本身的厚度和質(zhì)量要求嚴(yán)格，而且對(duì)功能薄膜/基底之間的界面質(zhì)量也十分敏感，尤其是隨著復(fù)雜高深寬比和多孔納米結(jié)構(gòu)在微納器件中的應(yīng)用，傳統(tǒng)的薄膜制備工藝越來越難以滿足其發(fā)展需求。ALD 技術(shù)沉積參數(shù)高度可控，可在各種尺寸的復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu)基底上，實(shí)現(xiàn)原子級(jí)精度的薄膜形成和生長(zhǎng)，可制備出高均勻性、高精度、高保形的納米級(jí)薄膜。 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)，是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)，主要由傳感器、動(dòng)作器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成，廣泛應(yīng)用于智能系統(tǒng)、消費(fèi)電子、可穿戴設(shè)備、智能家居、系統(tǒng)生物技術(shù)的合成生物學(xué)與微流控技術(shù)等領(lǐng)域。MEMS的構(gòu)造過程需要精細(xì)的微納加工技術(shù)，而工作過程伴隨著器件復(fù)雜的三維運(yùn)動(dòng)，其中ALD技術(shù)均可發(fā)揮重要作用，ALD具有高致密性以及高縱寬比結(jié)構(gòu)均勻性，為MEMS機(jī)械耐磨損層、抗腐蝕層、介電層、憎水涂層、生物相容性涂層、刻蝕掩膜層等提供優(yōu)質(zhì)解決方案。 磁隧道結(jié)(MTJ)是由釘扎層、絕緣介質(zhì)層和自由由層的多層堆垛組成。在電場(chǎng)作用下，電子會(huì)隧穿絕緣層勢(shì)壘而垂直穿過器件，電子隧穿的程度依賴于釘扎層和自由層的相對(duì)磁化方向。隨著MTJ尺寸的不斷縮小以及芯片集成度的不斷提高，MTJ制備過程中的薄膜生長(zhǎng)工藝偏差和刻蝕工藝偏差的存在，將會(huì)導(dǎo)致MTJ狀態(tài)切換變得不穩(wěn)定，并降低MTJ的讀取甚至?xí)?yán)重影響NV-FA電路中寫入功能和邏輯運(yùn)算結(jié)果輸出功能的正確性。ALD技術(shù)沉積參數(shù)高度可控，可通過精準(zhǔn)控制循環(huán)數(shù)來控制MTJ所需達(dá)到的各項(xiàng)參數(shù)，是適用于MTJ制造的最佳工藝方案之一。 生物物理學(xué)微流體器件可由單個(gè)納米孔和電極組成，也可以由許多納米孔陣列組成，可同時(shí)篩選、引導(dǎo)、定位、測(cè)量不同尺度的生物大分子，在生物物理學(xué)和生物技術(shù)領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用前景。生物納米孔逐漸受到了人們的普遍重視引起了人們的廣泛興趣，尤其是納米孔作為生物聚合物的檢測(cè)器件，為一些生物化學(xué)現(xiàn)象的基礎(chǔ)研究提供了研究的平臺(tái)。然而生物納米孔所固有的一些缺陷也很明顯，如生物相容性差及微孔的尺寸不可更改等；針對(duì)于此，ALD技術(shù)可通過表面修飾，改善納米孔的生物相容性，同時(shí)提升抗菌抑菌和促進(jìn)細(xì)胞合成。圖一: ALD Al2O3(僅~10 nm)可作為MEMS齒輪高硬度潤(rùn)滑膜圖二：ALD應(yīng)用于低溫MEMS器件構(gòu)造圖三：MRAM磁隧道結(jié)（MTJ）存儲(chǔ)元件圖四：一種具有納米蛛網(wǎng)結(jié)構(gòu)的細(xì)菌纖維素膜
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- 2023-06-12 14:45:39轉(zhuǎn)載 | 高溫高壓下，Palas?氣溶膠粒徑譜儀如何助力生物燃料研究
- 在生物燃料研究領(lǐng)域，氣體凈化一直是一個(gè)重要課題。在研究過程中通常需要對(duì)燃燒廢料產(chǎn)生的原料氣體進(jìn)行凈化并測(cè)試其凈化效果，而這些氣體往往處于高溫高壓條件，為氣體的測(cè)量與分離帶來重大挑戰(zhàn)。Palas? Promo? 3000HP氣溶膠粒徑譜儀可在高溫高壓環(huán)境下進(jìn)行粒徑表征，提供接近實(shí)際狀態(tài)的氣溶膠粒徑分布數(shù)據(jù)。來自德國(guó)卡爾斯魯厄的課題研究中心在其生物燃料項(xiàng)目中選擇了Palas? Promo? 3000HP氣溶膠粒徑譜儀，幫助該生物燃料研究項(xiàng)目獲得可靠數(shù)據(jù)。卡爾斯魯厄研究中心項(xiàng)目面臨的挑戰(zhàn)“在廢料氣化之后，我們必須對(duì)用于燃料合成物的原料氣體進(jìn)行凈化處理。”來自卡爾斯魯厄課題研究中心的羅伯特·邁博士說道。該項(xiàng)目從事生物燃料研究，從秸稈和廢木材中提取燃料，整個(gè)過程中對(duì)原始燃料氣體中雜質(zhì)（煙塵顆粒，硫、氯化氫等）的分析和處理是燃料合成的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。而由于催化劑的易燃性，保護(hù)其避免爆炸也是為研究的安全保駕護(hù)航。羅伯特·邁( Dipl.-Ing. Robert Mai)在生物燃料項(xiàng)目的試驗(yàn)工廠Promo? 3000HP可以在溫度高達(dá)250 ℃或高壓10 bar的條件下為該氣體凈化流程提供相關(guān)顆粒物濃度和顆粒物分布的測(cè)量。通常情況下廢料燃燒生成燃料原始?xì)怏w的條件為600 ℃和80 bar，完整實(shí)驗(yàn)的發(fā)生環(huán)境也至少達(dá)到200 ℃，從而避免氣體的冷凝。但如此條件下無法進(jìn)行氣體測(cè)量，因此需要分離出冷卻到200 ℃的二次流，使其在沒有壓力的情況下通向空氣傳感器。獨(dú)立的外置傳感器通過光纖與主機(jī)通訊，適用于易燃易爆氣溶膠的監(jiān)測(cè)，避免了電纜與易燃?xì)怏w的接觸。在研究過程中，Promo? 3000HP起到了保護(hù)易燃催化劑的作用，確保了實(shí)驗(yàn)環(huán)境的安全。為觀測(cè)氣體凈化效果，需要通過凈化前后的數(shù)據(jù)對(duì)比來幫助查驗(yàn)過濾效果。在Promo? 3000HP中，原始?xì)怏w和凈化后的氣體被兩個(gè)獨(dú)立的傳感器中檢測(cè)，使得快速的過濾層測(cè)試成為可能。而用于測(cè)量原始?xì)怏w和凈化氣體的兩個(gè)傳感器可以通過光纖連接：當(dāng)傳感器2070 H被用于高濃度原始?xì)怏w檢測(cè)，傳感器2300 H被用于濃度低于10 mg/m3的凈化后的氣體檢測(cè)。值得信賴的Palas?儀器認(rèn)識(shí)到Palas?儀器了在實(shí)驗(yàn)室的精彩表現(xiàn)，我們還可以在基爾大學(xué)Christian Albrecht制藥研究所看到這些儀器的實(shí)際應(yīng)用。Palas? Promo?系列是一種白光 氣溶膠測(cè)量系統(tǒng)，由于采用了數(shù)字化的單獨(dú)信號(hào)處理，可以對(duì)單個(gè)粒子進(jìn)行高分辨率的時(shí)間分析。久經(jīng)考驗(yàn)的T型結(jié)構(gòu)和模塊化設(shè)計(jì)的優(yōu)勢(shì)，也使得welas?系統(tǒng)傳感器可以利用靈活的新型散射光譜從而擁有高分辨率，確保了測(cè)量結(jié)果的高度可靠性。Palas?設(shè)備和儀器可為不同的監(jiān)測(cè)環(huán)境提供可靠的數(shù)據(jù)，未來也將繼續(xù)為科研與實(shí)際測(cè)量帶來令您放心的服務(wù)。Promo? 3000HP氣溶膠粒徑譜儀Palas? Promo? 3000HP氣溶膠粒徑譜儀除了耐高溫高壓與監(jiān)測(cè)易燃易爆氣溶膠等可靠功能，還采用了集成電子處理器技術(shù)，可以單獨(dú)進(jìn)行信號(hào)分析與重合分析，并可以在濃度高達(dá)106 p/cm3的條件下可信賴地測(cè)量顆粒物濃度與顆粒物大小。同時(shí)Promo? 3000HP還提供雙探頭測(cè)量方案，可任意配置用于高濃度（最 高可達(dá)1x106 個(gè)/cm3）或低濃度（最 低1 個(gè)/cm3）的探頭，滿足不同濃度區(qū)域的測(cè)量需求。與此同時(shí)，該設(shè)備還可通過各種接口（USB, Ethernet (LAN), Wi-Fi, RS-232/485）將設(shè)備連接到過程控制系統(tǒng)中，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)集成。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)測(cè)量范圍為 0.2 至 100 μm（在一臺(tái)設(shè)備中可以選擇 4 個(gè)測(cè)量范圍）在一臺(tái)設(shè)備中多達(dá)有四個(gè)測(cè)量范圍0.2 μm – 10 μm0.3 μm – 17 μm0.6 μm – 40 μm2 μm – 100 μm (傳感器 welas 2300 和 2500附加范圍)每個(gè)測(cè)量范圍多達(dá) 128 個(gè)尺寸通道濃度范圍 1 顆粒/立方厘米至 106 顆粒/立方厘米不同折射率的校準(zhǔn)曲線從 0.2 μm開始具有很高且可重現(xiàn)的計(jì)數(shù)效率光纖技術(shù)大觸摸屏操作簡(jiǎn)單客戶可以獨(dú)立進(jìn)行校準(zhǔn)、清潔和更換燈泡通過 RS 232 或以太網(wǎng)進(jìn)行外部控制帶有PDAnalyze 分析軟件可選：軟件PDControl 可作為welas digital 工作軟件低維護(hù)功能可靠減少您的運(yùn)營(yíng)費(fèi)用應(yīng)用領(lǐng)域設(shè)備排放監(jiān)控控制研磨和分類過程監(jiān)控食品、制藥和化工行業(yè)的生產(chǎn)過程測(cè)試完整的過濾器、慣性和濕式分離器或靜電除塵器
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- 2021-03-18 15:46:05KRI射頻離子源RFICP380濺射沉積NSN70隔熱膜
- 某機(jī)構(gòu)采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 輔助磁控濺射在柔性基材表面沉積多層 NSN70 隔熱膜, 制備出的 NSN70 隔熱膜具有陽光控制功能, 很好的解決了普通窗簾或百葉窗隔熱效果不明顯的問題. KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):射頻離子源型號(hào)RFICP380Discharge 陽極射頻 RFICP離子束流>1500 mA離子動(dòng)能100-1200 V柵極直徑30 cm Φ離子束聚焦, 平行, 散射流量15-50 sccm通氣Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他典型壓力< 0.5m Torr長(zhǎng)度39 cm直徑59 cm中和器LFN 2000 在柔性基材 PET 上沉積 AgCu 合金制備的 NSN 系列隔熱膜, 繼承了單 Ag 隔熱膜良好的光譜選擇性, 同時(shí)能有效的解決 Ag 易硫化的難題, 還具有抗氧化功能, 以防止隔熱膜長(zhǎng)期放置透射率指標(biāo)變化過大. NSN70 隔熱膜是沉積 AgCu 合金的金屬膜系結(jié)構(gòu)產(chǎn)品, 它生產(chǎn)效率高、隔熱性好. KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能, 增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實(shí)現(xiàn)的.
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- 2022-02-24 14:21:23離心實(shí)驗(yàn)中的生物安全防范，千萬別忽視病毒氣溶膠
- 安全是實(shí)驗(yàn)的第 一守則，對(duì)于離心實(shí)驗(yàn)而言，樣品的配平，運(yùn)行時(shí)不要超載、超速等，都是需要我們時(shí)刻注意的事項(xiàng)。而在這些可見的安全因素之外，我們往往忽視了一些不可見的安全事項(xiàng)：比如離心實(shí)驗(yàn)中產(chǎn)生的氣溶膠的危害。什么是氣溶膠？是指懸浮在氣體介質(zhì)中的固態(tài)或液態(tài)顆粒（0.1~100um）所組成的氣態(tài)分散系統(tǒng)。氣溶膠的危害：飛沫在空氣懸浮過程中失去水分而剩下的蛋白質(zhì)和病原體組成的的核，通過氣溶膠的形式漂浮，造成病原體的傳播過程。病毒離心實(shí)驗(yàn)中的生物安全：隨著疫情的影響，人們對(duì)于生物安全的重要性及關(guān)注程度大大提高，實(shí)驗(yàn)室人員開始考慮他們所用的儀器是否合符生物安全的要求，盡量減低實(shí)驗(yàn)室人員在實(shí)驗(yàn)過程中受細(xì)菌或病毒感染的機(jī)會(huì)。由于病毒學(xué)研究工作者經(jīng)常使用離心機(jī)進(jìn)行病毒的提取和純化過程，在該過程中很容易產(chǎn)帶有病毒的氣溶膠。病原微生物氣溶膠不僅會(huì)污染環(huán)境、干擾檢測(cè)結(jié)果，一些高危的病毒氣溶膠甚至?xí)：?shí)驗(yàn)者的健康甚至生命。貝克曼庫爾特公司在離心機(jī)、轉(zhuǎn)頭及離心管上的設(shè)計(jì)之處就進(jìn)行了生物安全性的考慮，保證工作人員在做離心實(shí)驗(yàn)時(shí)能盡量避免受到生物氣溶膠的影響，保障實(shí)驗(yàn)室人員的人身安全。生物安全離心機(jī)：我們的超速離心機(jī)和高速離心機(jī)系統(tǒng)，可選裝生物安全過濾系統(tǒng)，通過將制藥級(jí)氣體除 菌過濾器安裝在真空泵和離心腔之間，能夠有效隔離離心時(shí)產(chǎn)生的氣溶膠，避免氣溶膠從離心腔外溢至實(shí)驗(yàn)室空氣中。Optima MAX-XPOptima MAX-TL對(duì)于需要在生物安全柜內(nèi)進(jìn)行傳染性病毒純化的操作者，我們能提供Optima MAX系列臺(tái)式超速離心機(jī)，該系統(tǒng)能夠完全符合世界衛(wèi)生組織對(duì)處理危險(xiǎn)樣品（如傳染性病毒）的生物安全要求。生物安全轉(zhuǎn)頭：除了離心機(jī)主機(jī)部分，我們也提供經(jīng)過生物安全驗(yàn)證的轉(zhuǎn)頭 (Biosafety certified rotor)。通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證保證其密閉性，轉(zhuǎn)頭內(nèi)的樣品瓶可在生物安全柜內(nèi)打開，確保漏出的樣品保留在瓶?jī)?nèi)，不會(huì)外溢給實(shí)驗(yàn)人員帶來接觸風(fēng)險(xiǎn)。Aerosolve生物安全密封杯，全透明設(shè)計(jì)可使取樣前360°全方位觀測(cè)到杯內(nèi)樣品狀況，及時(shí)發(fā)現(xiàn)損壞和泄漏，防止氣溶膠外溢。部分轉(zhuǎn)頭具有雙重鎖定轉(zhuǎn)頭蓋 (Dual Locking Rotor Lid)可保持轉(zhuǎn)頭從離心腔拿出至安全柜時(shí)處于密封狀態(tài)。生物安全耗材：離心耗材部分的離心管、離心瓶等材料都有生物安全認(rèn)證，尤其是專為分離威脅樣品而設(shè)計(jì)的快封管，可極大保證分離危險(xiǎn)樣品的生物安全性。帶有多重保護(hù)蓋的離心瓶 (Multi-sealing cap)，可進(jìn)一步防止氣溶膠及危險(xiǎn)樣品溢出到轉(zhuǎn)頭和離心腔內(nèi)。通過將樣品置于一次性的收集袋中，一步封口減少液體溢出，大幅度地減少操作人員對(duì)生物樣品的接觸，同時(shí)提升離心效率。甚至真空脂、潤(rùn)滑油等耗材，我們也進(jìn)行了第三方生物安全認(rèn)證。只有整個(gè)系統(tǒng)都具備生物安全特性，才能最 大程度保證儀器使用的生物安全。
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- 2021-03-01 13:17:38KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射沉積半導(dǎo)體
- 河北某大學(xué)實(shí)驗(yàn)室在研究 IGZO 薄膜的特性試驗(yàn)中采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 作為濺射源, 濺射沉積半導(dǎo)體 IGZO 薄膜. 伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 技術(shù)參數(shù):型號(hào)RFICP140DischargeRFICP 射頻離子束流>600 mA離子動(dòng)能100-1200 V柵極直徑14 cm Φ離子束聚焦, 平行, 散射流量5-30 sccm通氣Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他典型壓力< 0.5m Torr長(zhǎng)度24.6 cm直徑24.6 cm中和器LFN 2000 試驗(yàn)采用射頻（RF）磁控濺射沉積方法, 在室溫不同壓強(qiáng)下在石英玻璃襯底上制備出高透光率與較好電學(xué)性質(zhì)的透明氧化物半導(dǎo)體 InGaZnO4（IGZO）薄膜, 并對(duì)薄膜進(jìn)行X線衍射（XRD）、生長(zhǎng)速率、電阻率和透光率的測(cè)試與表征.結(jié)果表明:實(shí)驗(yàn)所獲樣品 IGZO 薄膜為非晶態(tài), 薄膜最小電阻率為1.3×10^-3Ω·cm, 根據(jù)光學(xué)性能測(cè)試結(jié)果, IGZO 薄膜在 200～350nm 的紫外光區(qū)有較強(qiáng)吸收, 在 400～900nm 的可見光波段的透過率為75％～97％. 相比傳統(tǒng)的有以下優(yōu)點(diǎn)：更小的晶體尺寸, 設(shè)備更輕薄；全透明, 對(duì)可見光不敏感, 能夠大大增加元件的開口率, 提高亮度, 降低功耗的電子遷移率大約為, 比傳統(tǒng)材料進(jìn)步非常明顯, 面板比傳統(tǒng)面板有了全面的提升. KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能, 增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無法實(shí)現(xiàn)的. KRI 離子源是領(lǐng)域公認(rèn)的, 已獲得許多ZL. KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過程中.
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