設備簡介

_{MFDC680是一款小型直流磁控等離子濺射儀，配有磁控濺射頭 和可旋轉樣品臺。此款設配專門制備一些金屬膜。}

技術參數

_{輸入電壓：AC208V~240V,50/60Hz}

_{功率：<2500W}

_{輸出：電壓:1600VDC;最大電流:150mA}

_{濺射腔體：石英腔體:67mm 0D.x152mmIDx260mm H}

_{濺射頭&樣品臺：}

_{2英寸的磁控濺射頭,內部嵌有冷卻水管}

_{一個直徑為50MM的不銹鋼樣品臺,樣品臺可轉動,旋轉速率為:0-5RPM}

_{配有一手動操作的擋板}

_{樣品臺和靶頭之間的距離可以調節,調節范圍:60-100MM}

_{控制面板：所有技術參數的設定都在一6英寸的觸摸屏上操作}

_{可選配置：}

_{雙極旋片真空泵VRD-16，KF25接口}

_{不銹鋼波紋管和卡箍}

_{10L/名的循環水冷機}

_{分子泵(可選)：為了達到更好的鍍膜效果,可選購分子泵對測射腔體抽真空真空度可達到10-5Torr}

_{靶材(可選)：}

_{要求靶材尺寸:50mmx0.1-0.5mm(厚度)}

_{重量：20KG}

_{質量認證&質保：}

_CE認證

_{一年質保期,終生維護}

_{可濺射靶材:Au,Al,Cr,Ni,Pt,Ti,Sn等}