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AZ 光刻膠，G線/I線/G線I線通用光刻膠系列

詳細(xì)介紹

AZ 系列光刻膠

AZ 光刻膠(圖1)

AZ 光刻膠(圖2)

AZ 1500 系 列 光 刻 膠，為廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域而優(yōu)化的高感光度G線正型光刻膠

參考工藝條件
前烘 ：100℃ 60秒 (DHP)
曝光 ：G線步進(jìn)式曝光機(jī)/接觸式曝光機(jī)
顯影 ：AZ300MIF (2.38%) 23℃ 60秒 Puddle
清洗 ：去離子水30秒
后烘 ：120℃ 120秒 (DHP)
剝離 ：AZ剝離液及/或氧等離子體灰化
特 征
1) 高感光度,高產(chǎn)出率
2) 高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進(jìn)
3) 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)


產(chǎn)品型號(hào)(PRODUCT RANGE)

AZ 光刻膠(圖3)


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