作為一位失效分析工程師，您的任務(wù)是提供結(jié)果。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20這臺(tái)大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和硬盤行業(yè)中大受贊揚(yáng)。

Park NX20可輕易找出儀器失效的原因并幫助制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。無與倫比的精密度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時(shí)，True Non-Contact?掃描模式讓探針更鋒利、更耐久，無需為頻繁更換而耗費(fèi)大量的時(shí)間和金錢。

Park NX20擁有便捷的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更加專注于解決更為重大的問題并為客戶提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析。

技術(shù)信息

NX20的創(chuàng)新構(gòu)造讓您可以檢測樣品的側(cè)壁和表面，并能夠測量角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所必備的。

表面光潔度測量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來精確的失效分析和質(zhì)量保證。

QuickStep SCM  快速掃描式電容顯微鏡  

 PinPoint iAFM  無摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡

Accurate and Reproducible Measurements for Better Productivity

         Tip Wearing Experiment with CrN Sample

? 通過對比重復(fù)掃描情況下探針針尖的形狀變化，您可以輕易看到Park的True Non-Contact模式的優(yōu)勢之處。

                        Reproduce Best AFM Measurement

? 借助True Non-Contact模式，探針針尖在掃描氮化鉻樣品（即探針檢測樣品）200次后仍可保持鋒利的狀態(tài)。氮化鉻的表面粗糙且研磨性強(qiáng)，會(huì)讓普通的探針很快變鈍。

我們的原子力顯微鏡配有有效的低噪聲Z軸探測器，寬噪音帶寬僅有0.02 nm。這能夠帶來超精確的樣品形貌，不會(huì)受沿過沖影響，而且無需校準(zhǔn)。這僅僅是Park原子力顯微鏡為您節(jié)省時(shí)間，帶來更好精確數(shù)據(jù)的方式之一。

3原子力顯微鏡模式

QuickStep SCM Mode

PinPoint導(dǎo)電原子力顯微鏡模式是針對探針和樣品之間的指定電接點(diǎn)而開發(fā)設(shè)計(jì)的。在電流采樣過程中，XY軸掃描器會(huì)依據(jù)用戶設(shè)定的接觸時(shí)間停止。PinPoint導(dǎo)電原子力顯微鏡模式能夠帶來更高的空間分辨率，且不受 側(cè)向力的影響，同時(shí)在不同樣品表面的電流測量也得到優(yōu)化。

通過對比氧化鋅納米棒在不同類型的導(dǎo)電原子力顯微鏡圖像，我們可以看到相比輕敲式導(dǎo)電原子力顯微鏡，傳統(tǒng)的接觸式導(dǎo)電原子力顯微鏡有著更高精度的電流測量，但其分辨率低，原因在于探針在接觸中快速磨損。全新的PinPoint導(dǎo)電原子力顯微鏡不但空間分辨率更高，且電流測量也得到優(yōu)化。

導(dǎo)電原子力顯微鏡是各類元件研究的重要工具，特別是工業(yè)的失效分析。Park導(dǎo)電原子力顯微鏡不但有超低的電流噪聲，且增益范圍也非常大。

? 低電流噪聲(0.1 pA)

? 電流(10 μA)

? 增益范圍（7個(gè)數(shù)量級(jí)，103-109）