粉末材料掃描樣品的制備流程

1	清洗	VGT-1620QTD超聲波清洗機
2	濺射	VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀、GSL-1100X-SPC-16C濺射蒸鍍膜儀
3	觀察	鎢燈絲掃描電鏡

粉末樣品掃描試樣的制備一般分為：分散、鋪放、鍍導電膜三部分。

樣品的分散和鋪放：沈陽科晶自動化設備有限公司生產的超聲波的型號有VGT-1620QTD、VGT-1620TD兩種。可利用這兩種設備對粉末樣品進行分散鋪放處理。

耗材：①玻璃管、滴管、酒精

樣品鍍導電膜：沈陽科晶自動化設備有限公司生產的VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀， GSL-1100X-SPC-16C濺射蒸鍍膜儀是電鏡實驗室噴金和蒸碳常用的ZJ設備。

耗材：靶材

觀察：將處理好的粉末試樣放在掃描電鏡下進行觀察，由于粉末樣品在高真空條件下對電鏡鏡頭有嚴重的污染性，因此不適用于場發射掃描電鏡進行觀察，而使用鎢燈絲掃描電鏡進行觀察。

以上所使用的超聲波設備、鍍膜設備及其它們的耗材，沈陽科晶自動化設備有限公司均有銷售。