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8寸柜式噴膠機(jī)

品牌：沈陽(yáng)科晶
型號(hào)/貨號(hào)： VTC-200-SE/VTC-200-SE
產(chǎn)地：遼寧沈陽(yáng)
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司更新時(shí)間：2025-07-17 08:05:21

銷(xiāo)售范圍售全國(guó)

入駐年限第10年

營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核

同類(lèi)產(chǎn)品超聲霧化噴霧熱解(16件)

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詳細(xì)介紹

VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機(jī)是一種滿(mǎn)足半導(dǎo)體TSV、MEMS、WLP等工藝制程中異形表面的噴膠作業(yè)設(shè)備。是一種采用高精度微量液體平流傳輸和超聲波霧化震蕩技術(shù)均勻噴涂在一定溫度的物件表面,多次沉積成均勻涂層膜的納米噴膠設(shè)備。VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機(jī)采用鋁型材機(jī)柜,耐腐蝕透明PC板和噴塑機(jī)柜鈑金組成,美觀大方。七寸全彩觸屏界面,高精密電缸和伺服系統(tǒng)控制,整體設(shè)計(jì)布局合理,簡(jiǎn)單易用。1、全柜式集成結(jié)構(gòu)，工業(yè)級(jí)設(shè)計(jì)
2、ZD適合8寸晶圓，向下兼容，基片工裝方便更換
3、XYZ三軸電缸設(shè)計(jì)，噴頭高度程序可設(shè)置
4、轉(zhuǎn)盤(pán)加熱旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)，工作區(qū)高熱均勻性
5、微量平流系統(tǒng)，流速平穩(wěn)，流量精確可調(diào)
6、采用超聲噴霧系統(tǒng)，霧化顆粒均勻，功率可調(diào)
7、帶基片吸附和電動(dòng)頂針功能，方便上下片和計(jì)時(shí)功能
8、帶膠液監(jiān)測(cè)功能，頂部抽風(fēng)，保證工業(yè)生產(chǎn)需要
9、七寸全彩觸屏操作，手動(dòng)調(diào)試和自動(dòng)運(yùn)行兩種操作模式

產(chǎn)品名稱(chēng)	VTC-200-SE 8寸柜式噴膠機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)	VTC-200-SE
主要參數(shù)	1、電源：AC220V，50HZ，1.5KW 2、工作環(huán)境：濕度：20-90%，溫度20-30℃ 3、處理Wafer尺寸：200mm以下，向下兼容 4、熱盤(pán)溫度控制：室溫至200℃，控溫精度±0.5℃，工作區(qū)溫度均勻性小于±1% 5、基片頂升系統(tǒng)：頂升高度0-15mm，高度分辨率0.1mm 膠液流速范圍 1-20ml/min可調(diào) 6、熱盤(pán)電機(jī)額定轉(zhuǎn)速：1000rpm 7、XY電缸移動(dòng)ZD速度：X軸200mm/s，Y軸200mm/s 8、XY電缸有效行程：300mm×300mm 9、超聲波霧化粒徑：30-50μm 10、操作系統(tǒng)：人機(jī)互動(dòng)界面，PLC控制 11、噴嘴移動(dòng)方式：電動(dòng)機(jī)械組合XYZ三軸電缸
產(chǎn)品規(guī)格	1、機(jī)器尺寸：1000mm×880mm×1800mm （長(zhǎng)×寬×高） 2、重量：55Kg