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安東帕高溫高真空超納米壓痕儀 UNHT3 HTV

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高溫超納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)

第一臺真正意義的商品化的高溫高真空超納米壓痕儀,主要測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統(tǒng),溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。 UNHT3 技術與獨特的加熱功能結合,可提供在任何溫度下的高穩(wěn)定性測量解決方案。


主要特點 
新一代的高溫納米壓痕測試儀

  • 環(huán)境條件下zuidi熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個溫度范圍內zuidi熱漂移 (< 3 nm/min)。

  • 載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和zuidi框架柔度 (<<0.1 nm/mN):兩套獨立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結合,可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。

  • 高真空系統(tǒng)具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統(tǒng),允許在測量期間關閉初級泵,使振動降至zuidi。

  • 獨特的加熱控制系統(tǒng)(3 項待批),采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進行加熱,以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內。

  • 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國際標準


技術指標

載荷
最大載荷100 mN
載荷分辨率  6 nN
本底噪音  0.5 [rms] [μN]*
位移
最大位移100 μm
位移分辨率0.003 nm
本底噪音0.15 [rms] [nm]*
極限真空度10? mBar
溫度800 °C


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