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掃描電鏡專用原位AFM探測系統
- 品牌:奧地利GETec
- 型號: AFSEM
- 產地:歐洲 奧地利
- 供應商報價:面議
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QUANTUM量子科學儀器貿易(北京)有限公司
更新時間:2025-06-03 09:45:12
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銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照已審核
- 同類產品表面成像(40件)
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產品特點
- * 掃描電子顯微鏡中進行AFM原位分析
* 使用SCL的自感懸臂技術的納米探針
* 無需激光和探測器,適用于任何樣品表面
* 與大多數SEM兼容而不妨礙正常的操作
* AFM和SEM協同并行分析 詳細介紹
?AFSEM? —使AFM和SEM合二為一
奧地利GETec公司發布的AFSEM是一款緊湊型,適用于真空環境的AFM產品,能夠輕松地結合兩種大的分析技術—AFM和SEM為一體,擴展SEM樣品成像和分析能力。AFSEM技術與SEM技術的結合,使得人們對微觀和納米新探索新發現成為可能。
SEM結合AFMwan美解決方案:
* 掃描電子顯微鏡中進行AFM原位分析
* 使用SCL的自感懸臂技術的納米探針
* 無需激光和探測器,適用于任何樣品表面
* 與大多數SEM兼容而不妨礙正常的操作
* AFM和SEM協同并行分析
掃描電子顯微鏡中進行原位AFM分析
AFSEM技術實現了AFM和SEM的功能性互補,讓SEM可以同時實現樣品的高分辨率成像,真實的三維形貌,高度,距離測量,甚至是材料的導電性能。做到這一點只需要將AFSEM懸臂探針的位置移動到SEM下需要觀察的樣品位置進行探測。優化的AFSEM工作流程(幾乎沒有減少SEM的掃描時間)確保了效率。提供的強大控制軟件則允許進行優化和直觀的測量、系統處理和數據分析。 將AFSEM集成到一個Zeiss Leo 982掃描電子顯微鏡中(左),對樣品表面進行掃描成像(右),對樣品表面進行掃描。當在AFM和SEM成像之間交替時,不需要轉移樣品或打破真空。使用AFSEM,一切都可以進行內聯!
SEM-AFM 協同分析
對于產品或材料分析,通常需要用多種技術分析一個樣品或者同一個器件,并尋找參數之間的相關性。如果樣品需要使用SEM和AFM這兩種的成像技術,就意味著我們需要找到感興趣的區域并定位它,再拿到另一個設備中尋找這個感興趣的區域,才能實現對同樣的區域進行分析。有什么能比直接把AFM放在SEM里面來的簡單呢?
對無支撐石墨烯和石墨烯相關材料進行掃描電鏡和AFM原位分析。在低電壓掃描電子顯微鏡下,我們可以對一個懸空的石墨烯薄片的樣品進行成像,以確定層數和厚度(a)。然后,利用AFM(b+c)實現更高的分辨率和更好的對比度。
掃描電鏡圖像(A)、放大的圖像(B)和相關的AFM成像(C),測量結果來自FEI Quanta 600 FEG ESEM。
AFSEM可與大多數SEM兼容
AFSEM適用于大多數SEM或雙光束(SEM/FIB)系統。可以直接安裝在系統腔室的倉門上,同時樣品臺保持不變。此外,AFSEM采用一種自感應懸臂探針,無需激光與傳感器。 AFSEM在電鏡中,夾持探針的懸臂梁只需要極靴與樣品之間4.5毫米的空間。因此,AFSEM可以與各種標準的SEM兼容,GETec公司能夠處理任何兼容SEM系統真空腔內的安裝。也正是這種優雅小巧的設計使得掃描電子顯微鏡能夠配合AFM技術實現的亞納米級的形貌探測。
成功的AFSEM集成的例子(可參見集成SEM列表)。
AFSEM與SEM分析技術緊密配合
由于AFSEM小巧的設計維護了SEM功能的完整性,可以實現與其他標準的掃描電鏡分析技術相結合同時使用,如常規FIB、FEBID和EDX,以及SEM中可搭配的拉伸機,應力測試,機械手等等
AFSEM應用案例舉例:AFSEM與Deben 200N 拉伸試驗臺可以同時集成在Philips XL40 SEM實現試樣拉伸形變過程的原位觀察和形貌探測。這是一個創新的實驗解決方案,用來研究拉力作用下金屬試樣的拉伸形變和頸縮過程中,樣品表面形貌和粗糙度的變化。
此外AFSEM?和Hysitron PI85 硬度測試臺結合,一同安裝在蔡司Leo 982 SEM中,電鏡下我們可以實時觀察金屬表面在硬度計壓頭的壓力下,表面形變,滑移過程。其形變,滑移的形貌變化可以由AFM完成。從AFM的角度來看,自感應懸臂探針可以實現多種探測模式,包括 靜態成像、動態成像、相對比、力譜、力調制和導電模式AFM。例如,在飛利浦XL40儀器中,利用掃描電鏡成像、EDX的化學分析、AFM的3D形貌和電導分析。 技術文章