熱反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光閃射系統，可測量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數，如：熱擴散系數、導熱系數、蓄熱系數和界面熱阻。由于激光閃射時間僅為納秒（ns）量級，甚至可達到皮秒（ps）量級，此系統可測量厚度低至10nm 的薄膜。同時，系統提供不同的測量模式，以適應不同的基片情況（透明/ 不透明）。

技術參數：