產(chǎn)品信息

快速反射鏡

所屬類別： ? 應(yīng)用解決方案 ? 激光穩(wěn)定系統(tǒng)（光束指向/頻率/功率）
所屬品牌：德國(guó)TEM Messtechnik GmbH公司

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

微步進(jìn)電機(jī)與PZT壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的超大掃描角度的復(fù)合軸快速反射鏡。

德國(guó)TEM開(kāi)發(fā)的快速反射鏡是采用微步進(jìn)電機(jī)與PZT壓電陶瓷相結(jié)合的復(fù)合驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，不僅擁有電機(jī)驅(qū)動(dòng)的大量程的特點(diǎn)，又集成了PZT壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的高速高分辨率的特點(diǎn)，極大拓展了快速反射鏡的適用范圍與使用壽命。

關(guān)鍵詞：快速反射鏡，快速控制反射鏡，F(xiàn)SM，快速傾斜鏡，快速傾斜反射鏡，PZT驅(qū)動(dòng)快速控制反射鏡，壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速反射鏡

快速反射鏡

德國(guó)TEM開(kāi)發(fā)的快速反射鏡是采用微步進(jìn)電機(jī)與PZT壓電陶瓷相結(jié)合的復(fù)合驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，不僅擁有電機(jī)驅(qū)動(dòng)的大量程的特點(diǎn)，又集成了PZT壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的高速高分辨率的特點(diǎn)，極大拓展了快速反射鏡的適用范圍與使用壽命。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 反饋精度: < 1 μm, < 1 μrad (zuidi可達(dá) 10-100 nm)

? 超大掃描范圍: > 18°

? 高速度:伺服頻寬超過(guò)5 kHz

? PZT驅(qū)動(dòng)制動(dòng)器和機(jī)械裝置多種組合

? 全計(jì)算機(jī)控制 (USB, 串口, 局域網(wǎng)) ，完全獨(dú)立操作

快速反射鏡類別：

Aligna 60/40:微步進(jìn)電機(jī)快速反射鏡基座60x60 mm/40x40 mm

?兩個(gè)極微等步細(xì)分線制動(dòng)器

?手動(dòng)調(diào)節(jié)滾花旋鈕

?雙軸引用光編碼器

?多種反射鏡或其他組件安裝方式

(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)

Aligna MoPiA 60/40:微步進(jìn)電機(jī)+PZT驅(qū)動(dòng)快速反射鏡基座60x60 mm/40x40 mm

?兩個(gè)極微等步細(xì)分線制動(dòng)器

?手動(dòng)調(diào)節(jié)滾花旋鈕

?PZT壓電掃描器

?雙軸引用光編碼器

?多種反射鏡或其他組件安裝方式

(1", 1/2", 2", 和其他任意厚度)

部分應(yīng)用客戶：

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