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光學(xué)NanoGauge C10323-02

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產(chǎn)品特點(diǎn)


C10323型光學(xué)納米膜厚測量系統(tǒng)是一款微觀厚度測量系統(tǒng)。 在宏觀層面上無法測量具有不規(guī)則表面的物體,因?yàn)檫@些物體會產(chǎn)生高強(qiáng)度的散射光。 對于這些類型的物體,測量小面積可減少散射光,從而實(shí)現(xiàn)測量。



C10323-02的電源電壓為AC100 V至AC120 V。


詳細(xì)介紹

詳細(xì)參數(shù)
型號 C10323-02
可測膜厚范圍(玻璃) 20 nm to 50 μm①
測量可重復(fù)性(玻璃) 0.02 nm②
測量準(zhǔn)確性(玻璃) ±0.4 %③
光源 Halogen light source
光斑尺寸 φ8 μm to φ80 μm④
工作距離 Refer to objective lens list
可測層數(shù) Max. 10 layers
分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
外部控制功能 RS-232C, PIPE, Ethernet
電源 AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz
功耗 Approx. 250 VA
測量波長范圍 400 nm to 1100 nm
接口 USB 2.0

*1:轉(zhuǎn)換時(shí)玻璃的折射率是1.5

*2:測量400 nm玻璃薄膜厚度時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差(公差)

*3:取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)

*4:測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件一致

產(chǎn)品特性

● 可在微觀層面進(jìn)行測量


● 高速、高準(zhǔn)確度


● 分析光學(xué)常量(n, k)


● 可外部控制

外形尺寸(單位:mm)


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