產品介紹：

       超分辨激光干涉儀基于便攜式、高靈敏度、高精度波前分析儀。該激光干涉儀采用四波剪切干涉技術，與傳統干涉儀相比較具有結構緊湊，使用方便，無需標準件，檢測穩定性，直接測量任意的波前、高分辨率（300x400采樣點）、激光波長覆蓋400-1100nm、消色差、高動態范圍（500um）等優點。

超分辨剪切干涉儀可用于激光波前檢測、激光強度檢測、等離子體密度檢測、透鏡檢測、高功率激光自適應、光刻機檢測、精密光學元器件檢測、光學系統裝調、鏡頭模組檢測、傳遞函數（MTF）檢測等。法國Phasics公司超分辨剪切干涉儀并可實時檢測為客戶提供優化的數據支持。

產品特點：

1、直接測量、無需標準件

圖一、檢測光路

2、高靈敏度（是普通白光干涉儀的8.4倍）、對振動不敏感

圖二 與傳統的干涉儀檢測結果對比

3、三維立體顯示

圖三、波前三維檢測視圖

4、實時顯示澤尼克系數

圖四、多階澤尼克顯示界面

5、傳遞函數（MTF）檢測

圖五、傳遞函數檢測界面

干涉儀應用領域：

? 激光光束性能、波前畸變、M^2、強度等的檢測

? 紅外透鏡檢測

? 激光、天文、顯微、眼科等復雜自適應光學系統波前像差檢測

? 光刻機物鏡檢測

? 大口徑高精度光學元器件檢測

? 透鏡、鏡頭模組檢測

? 傳遞函數測量

? 等離子體密度檢測

? 高功率激光自適應

產品系列：

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