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掃描電子顯微鏡-量子超高分辨場發射掃描電子顯微鏡 SEM5000X

銷售范圍售全國

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掃描電子顯微鏡-量子超高分辨場發射掃描電子顯微鏡 SEM5000X 核心參數

加速電壓	20 V ~ 30 kV	放大倍數	1 ~ 2,500,000 x
分辨率	0.6 nm@15 kV 1.0 nm@1 kV

產品特點

SEM5000X是一款超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。

超高分辨場發射掃描電子顯微鏡
SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場發射掃描電鏡，電子光學鏡筒設計優化，綜合像差降低了 30%，從而達到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高穩定性，可在先進納米結構和納米材料的研究、高端芯片半導體的研發制造等領域發揮其性能優勢。

突破性的分辨能力

機械中心樣品臺

*雙減速模式（Duo-Dec）

*快速換樣倉
（最大8寸）

高穩定性

豐富的擴展能力

產品優勢

超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

樣品臺減速和高壓隧道技術組合的雙減速技術，挑戰極限樣品拍攝場景

高精度機械優中心樣品臺、超穩定性的機架減震設計，可搭配整體罩殼設計，極大減弱環境對極限分辨率的影響

最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導體和科研應用需求

應用案例

介孔二氧化硅/1 kV（Duo-Dec）/lnlens

陽極氧化鋁板 /10 kV/Inlens

芯片/5 kV/BSED-COMP

腎臟切片 /5 kV/BSED-COMP

泡沫鎳/2 kV/ETD-SE

藍寶石襯底/5 kV/ETD-SE

金顆粒/1 kV/Inlens

光刻膠/2 kV/ETD-SE

磁性粉末/10 kV/Inlens

二氧化硅球/3 kV/ETD-SE

催化劑/1 kV/ETD-SE

波導/1 kV/ETD-SE

產品參數