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掃描電子顯微鏡-量子場發射掃描電子顯微鏡 SEM4000Pro

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產品特點

SEM4000Pro是一款分析型熱場發射掃描電子顯微鏡,配備了高亮度、長壽命的肖特基場發射電子槍。三級磁透鏡設計,束流max可達200 nA,在EDS、EBSD、WDS等應用上具有明顯優勢

詳細介紹


場發射掃描電子顯微鏡
SEM4000Pro

SEM4000Pro是一款分析型熱場發射掃描電子顯微鏡,配備了高亮度、長壽命的肖特基場發射電子槍。三級磁透鏡設計,束流max可達200 nA,在EDS、EBSD、WDS等應用上具有明顯優勢。標配低真空模式,以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器,可觀察導電性弱或不導電樣品。標配的光學導航模式,以及直觀的操作界面,讓您的分析工作倍感輕松。

突破性的分辨能力
機械中心樣品臺
低真空模式
*快速換樣倉
(最大8寸)
三級磁透鏡設計

豐富的擴展能力


產品優勢

01配備高亮度、長壽命的肖特基熱場發射電子槍
02分辨率高,30 kV 下優于 0.9 nm 的極限分辨率
03三級磁透鏡設計,束流可調范圍大,最大支持 200 nA 的分析束流
04無漏磁物鏡設計,可直接觀察磁性樣品
05標配低真空模式,以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器
06標配的光學導航模式,中文操作軟件,讓分析工作更輕松


應用案例

水菜花花粉/低真空70 Pa/10 kV/LVD
陶瓷/10 kV/ETD
金屬斷口/15 kV/ETD
PA-玻纖復合材料/10 kV/BSED
芯片/5 kV/ETD
銀漿/1 kV/ ETD


產品參數

關鍵參數分辨率0.9 nm @ 30 kV,SE
2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa
1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa
加速電壓200 V ~ 30 kV(35kV可選)
放大倍率1 ~ 1,000,000 x
電子槍類型肖特基場發射電子槍
樣品室低真空模式最大180 Pa
攝像頭雙攝像頭
(光學導航+樣品倉內監控)
行程X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm
T: -10°~+70°,R: 360°
探測器和擴展標配倉室內電子探測器(ETD)
低真空二次電子探測器(LVD)
插入式背散射電子探測器(BSED 五分割,可選配)
選配能譜儀(EDS)
背散射衍射(EBSD)
插入式掃描透射探測器(STEM)
樣品交換倉(4 寸 /8 寸)
軌跡球&旋鈕板
軟件語言中文SEM軟件
操作系統Windows
導航光學導航、手勢快捷導航、軌跡球(選配)
自動功能自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散


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