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光譜橢偏儀
- 品牌：沈陽科晶
- 型號/貨號： SE-Mapping/SE-Mapping
- 產地：遼寧 沈陽
- 供應商報價：面議
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沈陽科晶自動化設備有限公司
更新時間：2025-05-30 08:05:34 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業執照已審核
- 同類產品橢偏儀(10件)
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詳細介紹
SE-Mapping光譜橢偏儀是一款可定制化Mapping繪制化測量光譜橢偏儀，采用行業前沿創新技術，配置全自動Mapping測量模塊，通過橢偏參數、 透射/反射率等參數的測量，快速實現薄膜全基片膜厚以及光學參數自定義繪制化測量表征分析。SE-Mapping光譜橢偏儀廣泛應用OLED，LED，光伏，集成電路等工業應用中,實現大尺寸全基片膜厚、光學常數以及膜厚分布快速測量與表征。
1、全基片橢偏繪制化測量解決方案
2、支持產品設計以及功能模塊定制化，一鍵繪制測量
3、配置Mapping模塊，全基片自定義多點定位測量能力
4、豐富的數據庫和幾何結構模型庫，保證強大數據分析能力
5、采用氘燈和鹵素燈復合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)
6、高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置，實現Psi/Delta光譜數據高速采集
7、具備全基片自定義多點自動定位測量能力，提供全面膜厚檢測分析報告
8、數百種材料數據庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料
產品型號
SE-Mapping光譜橢偏儀
技術參數
1、自動化程度：固定角+ mapping
2、應用定位：檢測型
3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R等光譜
4、分析光譜：380-1000nm(可擴至193-2500nm)
5、單次測量時間：0.5-5s
6、重復性測量精度：0.01nm
7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200um
8、入射角調節方式：固定角
9、入射角范圍：65°
10、找焦方式：手動找焦
11、Mapping1程：300x300mm
12、支持樣件尺寸：ZD至300mm
可選配件
1
真空泵
2
透射吸附組件
滬公網安備 31011502008050號