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橢偏儀 ME-series 光譜橢偏儀

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產品特點

實現各種單層到多層的各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學常數快速表征

詳細介紹

ME-series

光譜橢偏儀

通過橢偏參數、透射/反射等參數測量

實現各種單層到多層的各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學常數快速表征


產品優勢

? 專業光譜橢偏儀解決方案

? 超高精度、快速無損測量

? 系列配置靈活,支持功能定制設計

? 豐富的材料數據庫與算法模型庫

? 可根據不同應用場景支持多功能模塊定制化 配置


技術規格

型號

SE-VM

ME-Mapping

SE-VF

SE-VE

應用定位

通用型

自動型

檢測型

經濟型

基本功能

Psi/Delta 、 N/C/S 、 R/T等光譜

Psi/Delta 、 N/C/S 、 R等光譜

分析光譜

380-1000nm(支持擴展至193-1650nm)

245-1000nm

400-800nm

單次測量時間

≤15s

重復性測量精度

0.01nm

0.05nm

光斑大小

大光斑2-4mm, 微光斑200um/100um

50um/100um

大光斑2-4mm

折射率重復性精度

0.0005

0.001

入射角范圍

45-90°(5°步進)

45-90°

65°

65°

入射角調節方式

手動變角

自動變角

固定角

固定角

找焦方式

手動找焦

自動找焦

手動找焦

手動找焦

Mapping行程

不支持

100*100mm(可選配)

300*300mm(可選配)

不支持

支持樣件尺寸

最 大至180mm

最 大至200mm

最 大至300mm

最 大至160mm

重復性精度指標針對100nmSiO2/Si標準樣件30次重復性測量;

有關Mapping型號命名與其行程尺寸有關,并支持尺寸定制;

儀器具體技術參數需與實際功能模塊、配件有關,表中數據僅供參考。


SE-VM

高精度光譜橢偏儀測量解決方案

可實現科研/企業級高精度快速光譜   橢偏測量,支持多角度,微光斑等高 兼容性靈活配置,多功能模塊定制化 設計,廣泛應用于光通訊/OLED/TP/  透明導電膜等涉及透明襯底鍍膜測量表征應用。

20250402-527280455.png

SE-VE

經濟型光譜橢偏儀解決方案

滿足科研級/企業級絕大多數薄膜光   譜橢偏高性價比測量需求,快速表征 薄膜膜厚以及光學常數等,對于常規 單拋Si/InP/GaAs等襯底鍍膜可實現一鍵測量。

20250402-683022674.png

SE-VF

微區測量光譜橢偏解決方案

搭配圖像識別系統可以滿足科研/企業 級各種待測對象微區Pattern的高精度  快速光譜橢偏測量需求

20250402-321615644.png

ME-MappingMapping

光譜橢偏測量解決方案

滿足大尺寸基片多點自定義繪制化光 譜橢偏測量需求,支持尺寸定制,實時離線檢測并輸出膜厚形貌分布以及數據報告,廣泛應用于設備廠商/Fab 級鍍膜均勻性快速測量表征

20250402-676586237.png


超微光斑橢偏測量解決方案 

SE-m 光譜橢偏儀

針對微區測量定制開發的 專用型光譜橢偏儀

可用于針對各類不同厚度襯底 (可低至微米級)上的減反膜、導電膜等薄膜的n/k/d測量,完 美適用于微區圖形的各種光學參數解析。

20250402-1141778595.png

原位橢偏測量解決方案 

SE-i 光譜橢偏儀

針對有機/無機鍍膜工藝研究   的需要開發的原位薄膜在線監 測中的定制化橢偏測量頭

可用于金屬薄膜、無機薄膜、有機 薄膜的蒸鍍、濺射等光學薄膜工藝 過程的實時原位在線監測并實時反 饋測量物性數據。

核心優勢

?   可定制光斑尺寸,最小可達30um

?   超快測量,單次測量時間小于0.5秒

?   系列配置靈活,支持功能定制設計

?   結構緊湊,更適應在線集成測量

光伏專用橢偏解決方案 SE-PV 光譜橢偏儀

針對光伏行業絨面單晶硅或多 晶硅太陽電池表面減反膜測量 定制開發的光伏專用型光譜橢 偏儀

20250402-897655144.png

集成電路在線解決方案 

半導體自動光譜橢偏儀

采用最 新一代穆勒矩陣式膜厚&OCD測量頭,可針對晶圓片工藝段的二維/三維結構特征或整 體形貌快速無損表征,精 準獲取半導體制造工藝中單層或多層薄膜結構參數信息。

20250402-1862263323.png

顯示面板在線解決方案 

面板在線橢偏測厚儀

針對LCD 、 OLED 等新型平板顯示量產中所涉及的PI 配向膜、光刻膠薄膜、 ITO薄膜、有機發光薄膜、

有機/無機封裝薄膜等質量控制需要而定制在線薄膜測量系統。

20250402-426533685.png

應用領域

?   集成電路

?   光伏電池

?   LED

?   OLED

?   生物化學

?   科學研究

?   二維材料

?   光通訊

?   玻璃蓋板


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