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日立 HD-2700 球差校正掃描透射電子顯微鏡 AC-TEM

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詳細(xì)介紹

高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像

  • HAADF-STEM圖像0.136 nm,F(xiàn)FT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)

  • HAADF-STEM圖像0.144 nm(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭)

  • 明場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)


高速,高靈敏度能譜分析:探針電流×10倍
  • 元素面分布更迅速及時(shí)

  • 低濃度元素檢測(cè)


操作簡(jiǎn)化
  • 自動(dòng)圖像對(duì)中功能


從樣品制備到觀察分析實(shí)現(xiàn)無(wú)縫連接
  • 樣品桿與日立聚焦離子束系統(tǒng)兼容


配有各種選購(gòu)件可執(zhí)行各種評(píng)估和分析操作
  • 同時(shí)獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。

  • 低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至zui低)

  • 高精度放大校準(zhǔn)和測(cè)量*

  • 實(shí)時(shí)衍射單元*(同時(shí)觀察暗場(chǎng)-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)

  • 采用三維微型柱旋轉(zhuǎn)樣品桿(360度旋轉(zhuǎn))*,具有自動(dòng)傾斜圖像獲取功能。

  • ELV-3000即時(shí)元素面分布系統(tǒng) *(同時(shí)獲取暗場(chǎng)-掃描透射電子顯微鏡圖像)



技術(shù)指標(biāo)

HD-2700球差校正掃描式透射電子顯微鏡

項(xiàng)目
描述
圖像分辨率

w/o球差校正儀

保證 0.204nm(當(dāng)放大倍數(shù)為4,000,000時(shí))
w球差校正儀保證 0.144 nm(當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí))(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭)
保證 0.136nm(HAADF圖像)
保證0.105 nm(通過(guò)FFT)(當(dāng)放大倍數(shù)為7,000,000時(shí))(高分辨率鏡頭(*)
放大倍數(shù)100倍 至 10,000,000倍
加速電壓200 kV, 120 kV (*)
成像信號(hào)明場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡:相襯圖像(TE圖像)
暗場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡:原子序數(shù)襯度圖像(Z襯度圖像)
二次電子圖像(SE圖像)
電子衍射(*)
特征X射線分析和面分布(能譜分析)(*)
電子能量損失譜分析和面分布(EV3000)(*)
電子光學(xué)系統(tǒng)電子源肖特基發(fā)射電子源
冷場(chǎng)致發(fā)射器(*)
照明透鏡系統(tǒng)2-段聚光鏡鏡頭
球差校正儀(*)六極鏡頭設(shè)計(jì)
掃描線圈2-段式電磁感應(yīng)線圈
原子序數(shù)襯度收集角控制投影鏡設(shè)計(jì)
電磁圖像位移±1 μm
試片鏡臺(tái)樣品移動(dòng)X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm
樣品傾斜單軸-傾斜樣品桿:±30°(標(biāo)準(zhǔn)鏡頭), ±18°(高分辨率鏡頭(*)
真空系統(tǒng)
3個(gè)離子泵,1個(gè)TMP
極限真空10-8 Pa(電子槍), 10-5 Pa(樣品室)
圖像顯示個(gè)人電腦/操作系統(tǒng)PC/AT兼容, Windows? XP
監(jiān)視器19-inch液晶顯示器面板
圖像幀尺寸640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
掃描速度快掃,慢掃(0.5至320秒/幀)
自動(dòng)數(shù)據(jù)顯示記錄序號(hào),加速電壓,下標(biāo)尺,日期,時(shí)間
 

(*) 選購(gòu)件
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