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日本日立 HD-2700球差校正掃描透射電子顯微鏡

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產品特點

專用掃描透射顯微鏡HD-2700,配備了與德國CEOS GmbH公司(總經理Max Haider先生)共同開發的球差校正儀,顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能,更適合高納米技術研究。由于球差校正系統校正了限制電子顯微鏡的性能的球差,使其與標準型號顯微鏡相比,分辨率提高了1.5倍,同時,探針電流提高了10倍。

詳細介紹

產品介紹:

專用掃描透射顯微鏡HD-2700,配備了與德國CEOS GmbH公司(總經理Max Haider先生)共同開發的球差校正儀,顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能,更適合高納米技術研究。由于球差校正系統校正了限制電子顯微鏡的性能的球差,使其與標準型號顯微鏡相比,分辨率提高了1.5倍,同時,探針電流提高了10倍。

     近,該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場發射電子槍,進一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時,該型號系列還增加了一款不帶球差校正的主機配置,可以以后加配球差校正進行升。
特點

高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像 
  • HAADF-STEM圖像0.136nm,FFT圖像0.105nm(高分辨率鏡頭(*)

  • HAADF-STEM圖像0.144nm(標準鏡頭)

  • 明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204nm(w/o球差校正儀)

高速,高靈敏度能譜分析:探針電流×10倍

  • 元素面分布更迅速及時

  • 低濃度元素檢測

操作簡化

  • 自動圖像對中功能

從樣品制備到觀察分析實現無縫連接

  • 樣品桿與日立聚焦離子束系統兼容

配有各種選購件可執行各種評估和分析操作

  • 同時獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布(*) 和DF/EELS面分布(*)圖像。

  • 低劑量功能(*)(使樣品的損傷和污染程度降至zui低)

  • 高精度放大校準和測量(*)

  • 實時衍射單元(*)(同時觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)

  • 采用三維微型柱旋轉樣品桿(360度旋轉)(*),具有自動傾斜圖像獲取功能。

  • ELV-3000即時元素面分布系統(*)(同時獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像)

(*) 選購件

    技術指標

    HD-2700球差校正掃描式透射電子顯微鏡

    項目
    描述
    圖像分辨率

    w/o球差校正儀

    保證 0.204nm(當放大倍數為4,000,000時)
    w球差校正儀保證 0.144 nm(當放大倍數為7,000,000時)(標準鏡頭)
    保證 0.136nm(HAADF圖像)
    保證0.105 nm(通過FFT)(當放大倍數為7,000,000時)(高分辨率鏡頭(*)
    放大倍數100倍 至 10,000,000倍
    加速電壓200 kV, 120 kV (*)
    成像信號明場掃描透射電子顯微鏡:相襯圖像(TE圖像)
    暗場掃描透射電子顯微鏡:原子序數襯度圖像(Z襯度圖像)
    二次電子圖像(SE圖像)
    電子衍射(*)
    特征X射線分析和面分布(能譜分析)(*)
    電子能量損失譜分析和面分布(EV3000)(*)
    電子光學系統電子源肖特基發射電子源
    冷場致發射器(*)
    照明透鏡系統2-段聚光鏡鏡頭
    球差校正儀(*)六鏡頭設計
    掃描線圈2-段式電磁感應線圈
    原子序數襯度收集角控制投影鏡設計
    電磁圖像位移±1 μm
    試片鏡臺樣品移動X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm
    樣品傾斜單軸-傾斜樣品桿:±30°(標準鏡頭), ±18°(高分辨率鏡頭(*)
    真空系統
    3個離子泵,1個TMP
    限真空10-8 Pa(電子槍), 10-5 Pa(樣品室)
    圖像顯示個人電腦/操作系統PC/AT兼容, Windows? XP
    監視器19-inch液晶顯示器面板
    圖像幀尺寸640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
    掃描速度快掃,慢掃(0.5至320秒/幀)
    自動數據顯示記錄序號,加速電壓,下標尺,日期,時間


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