用途： MSP-1S 是為 SEM 的樣品制備而設計的噴金儀，為 樣品表面噴金屬鍍層。 

工作原理： MSP-1S 采用了一個平板控制電極，通過低電壓放電進 行磁控濺射的噴鍍。 

產品優勢： 

* 起弧電壓低：有效減弱樣品受到的離子損傷和熱損傷。

* 可移動式樣品臺：工作時，樣品溫升小，能有效防止 由于離子濺射而產生的樣品變形。

* 內置真空泵，一體式設計 

* MSP-1S 是一臺只要啟動“EVAC”按鈕，就可以全自 動完成噴涂的設備。

技術參數 

真空系統 抽速 20 L/ min，

旋轉泵高可抽到 2 Pa 

樣品室真空度 在濺射時的真空度保持 6 ~ 8 Pa 

靶和樣品的距離 標準 25 mm，也可以調整輔助平臺，增大距離至 35 mm 

樣品室尺寸 高 65 mm，直徑 120 mm，由耐熱玻璃制成 

靶材尺寸 直徑 55 mm

靶材種類 標配金 - 鈀，可選配金 、鉑、金 - 鈀合金、鉑

樣品臺 直徑 50 mm。與陽極分離的可移動式樣品臺

設備尺寸 長 200 mm× 寬 340 mm× 高 350 mm。

重量：14 Kg 

電源 100 V 單相交流電，大電流為 10 A

全國代理，請認準 瑞塞奇精密儀器

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