跨尺度納米輪廓儀 AFX-1000-3D

亞納米分辨力3維成像

跨越6個(gè)量級(jí)的臺(tái)階尺度精測(cè)

晶圓面型應(yīng)力分析

主要應(yīng)用： 

可應(yīng)用于精密加工元件(包括各種尺寸的光學(xué)鏡頭、鏡面及金屬加工件)的面形以 及中頻和高頻粗糙度測(cè)量。并可用于各種材料納米尺度精測(cè)，包括晶圓、高分子材料、 二維材料等。

高速 PID 控制系統(tǒng)

局域 3D 成像功能

大尺度線掃描(profiling)

XY 電動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍

(光柵尺分辨率20nm):300mm×300mm;

· Z 電動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍

(光柵尺分辨率5nm):30mm;

· 探針掃描器范圍：100um×100um×15um;

· XY 閉環(huán)位置控制噪音：1nm;

· 整機(jī)噪音(Z):30pm;

· 縱向尺度和粗糙度測(cè)量：3σ≤0.01nm;

· 橫向尺度測(cè)量：3σ≤1nm(or 1%量程);

圖像分辨率可以達(dá)到2048×2048。

主要技術(shù)及指標(biāo)

高精度測(cè)量頭 

· 探針掃描器范圍：100um×100um×15um; 

· XY 閉環(huán)位置控制噪音：1nm; 

· 整機(jī)噪音 (Z):30pm; 

· 位移傳感噪聲：≤40fm/√Hz; 

· 具備急停保護(hù)功能，當(dāng)探針誤撞樣品等危險(xiǎn) 狀況可觸發(fā)急停，從而保護(hù)測(cè)頭和樣品。

無(wú)調(diào)節(jié)換針技術(shù)

優(yōu)勢(shì)技術(shù)

高精度機(jī)械定位結(jié)合磁吸技術(shù)實(shí)現(xiàn)探針-激光 -光電傳感器自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)，無(wú)需光路調(diào)節(jié)。

跨尺度掃描平臺(tái)(選配)

跨尺度掃描平臺(tái)(選配)

· 直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)； 

· 掃描臺(tái)行程：20mm; 

· 運(yùn)行縱向穩(wěn)定性：±2nm; 

· 光柵分辨率：5nm; 

· 重復(fù)定位精度：≤100nm。

高速FPGA 反饋控制器

· 具備高精度模擬信號(hào)輸入與輸出能力； 

· 線性電源實(shí)現(xiàn)極低噪聲； 

· 具備10通道數(shù)據(jù)采集、信號(hào)分析、顯示 及存儲(chǔ)能力； 支持正弦波電壓輸出，頻率范圍覆蓋 DC-2MHz, 頻率遞增步長(zhǎng)≤0.1Hz; 數(shù)字IO接口支持5軸電機(jī)高精度控制。

高速AD 

4通道，16位，采樣率10MHz,輸入電壓范圍±5V 

低速AD 

6通道，24位，采樣率1MHz,輸入電壓范圍±10V 

高速DA 

2通道，16位，采樣率50MHz,輸出電壓范圍±2.5V 

低速DA 

4通道，20位，采樣率416.7KHz,輸出電壓范圍±10V/0-10V 

數(shù)字DI接口 

單端DI 16個(gè)，差分DI 18對(duì) 

數(shù)字DO接口 

單端DO 24個(gè)，差分DO 4對(duì) 

通訊接口 

千兆以太網(wǎng)，485串口

應(yīng)用實(shí)例

粗糙度

粗糙度及圖案3維關(guān)鍵尺度測(cè)量，粗糙度精測(cè) (metrology)3sigma可達(dá)到10pm;縱向分辨力優(yōu) 于30pm, 橫向分辨力取決于探針?shù)J度，系統(tǒng)橫向分 辨力高于0.1nm。

尺寸精測(cè)

尺寸精測(cè)：支持5:1深寬比溝槽 結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸測(cè)量，包括 CD、LER、 LWR, 支 持 XY 向 最 大 掃 描 范 圍 ： 100um*100um,Z 方向測(cè)量范圍： 0.1nm-15um。

跨尺度測(cè)量(Profiling)

可連續(xù)精測(cè)0.1nm 到 1mm 的 臺(tái)階，包括側(cè)壁粗糙度，并保持亞 納米縱向分辨力；該功能采用獨(dú)特 專 利技術(shù)和探針。

系統(tǒng)指標(biāo)