激光光刻系統是經濟型、具有高分辨率的圖形發生器。適用于小批量掩膜版制作和直寫需求。

通過將用戶設計的電路圖或者其他微納米結構圖形導入到設備里，設備將會根據用戶設計的圖形結構自動轉換為光刻的數據格式，然后通過激光器發出光源直接照射在涂有感光材料的襯底（玻璃，晶圓）上。